表面解析

マイクロエレクトロニクス分野で使用されます
表面処理皮膜の管理においては、

その皮膜表面の状態はもちろん、
薬品の成分、工程環境測定、廃液管理など

高度な化学分析及び科学的な解析が必要です。

当社ではこれらに用います 各種分析・解析機器を所有し

正確且つ敏速な分析・解析管理を行っています。

所有装置

解析・測定
1.走査電子顕微鏡システム(FE-SEM+EDX)
日立ハイテクノロジーズ社製 SU-70
2.イオンミリング装置
日立ハイテクノロジーズ社製 E-3500
3.リフローシュミレータ
マルコム社製
4.高性能集束イオンビーム装置(FIB)
SII製 SMI3050
5.走査型電子顕微鏡(SEM)
日本電子製 JSM-5600
6.エネルギー分散型X線分析装置(EDS)
日本電子製 JED-2200
7.フーリエ変換型赤外分光光度計(FT-IR)
堀場製 FT-530
8.蛍光X線装置
SII製 SEA5240
9.セミオートワイヤーボンディング装置
ウエストボンド社製 MODEL454647E
10.ワイヤープルテスター
RHESCA製 PTR-03S
11.マイクロスコープ キーエンス製 VHX-100
12.万能型ボンドテスター DAGE製 PC-2400
13.密着測定機
QUAD GROP製  

 

大和電機諏訪事業所所有装置

液分析
1.イオンクロマトグラフ DIONEX製  ICS-1500
2.分光光度計 日立製 U-2000
3.キャピラリー電気泳動
Agilent製 G1600A
4.ICP発光分光分析装置
SII製 SPS7800
5.自動滴定装置
東亜DKK製 AUT501
6.pHメーター
東亜DKK製 HM-30R
7.表面張力計 協和界面科学製 CBVP-A3
8.パーティクルカウンター RION製 KZ-30W,KL-11
9.電気化学測定機
北斗電工製 HZ5000

 

分析装置

解析
オージェ電子分光装置(AES)
電子線マイクロアナライザー(EPMA)

 

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